加码硬核“中试赛道”！佛山拟再添2家部级重点培育平台

近日，工业和信息化部公示第三批重点培育中试平台初步名单，广东省共有8家平台入围，其中佛山占据两席，分别是依托广东中科半导体微纳制造技术研究院建设的“半导体材料外延与微纳加工中试平台”，以及依托佛山市顺德华工科技园有限公司建设的“先进功能材料制备与应用中试平台”。

广东中科半导体微纳制造技术研究院建设的“半导体材料外延与微纳加工中试平台”。

中试，是把处在试制阶段的新产品转化到生产过程的过渡性试验。数据给出了残酷而清晰的对比：科技成果经过中试，产业化成功率可达80%；而未经过中试，产业化成功率只有30%。这中间的差距，被业界称为科技成果转化的“死亡之谷”。

工业和信息化部自2025年起系统化推进中试平台梯次培育体系，明确了“储备中试平台—部重点培育中试平台—国家级制造业中试平台”的进阶路径。纳入部重点培育名录，意味着该平台在战略定位、基础能力、服务成效等方面通过了国家层面的筛选，成为高水平中试平台的“中坚力量”。其目标并非简单的挂牌认定，而是通过“做强一批、激活一批、补齐一批”的思路，推动中试能力从分散走向体系化，最终形成覆盖多领域、多层次的全国制造业中试服务网络。

此次入选的两家佛山平台，恰好对应了制造业升级中亟待突破的环节。

先进功能材料制备与应用中试平台，由华南理工大学与顺德区校地共建，选址顺德陈村的莱茵工业园。平台已建成8条成熟中试线。其中在半导体配套材料领域，该平台的氧化钇耐刻蚀涂层性能优于日本同类产品，已服务国内半导体装备国产化验证。截至目前，平台累计对外服务企事业单位27家，孵化了8家科技企业；还联合广东省国资粤财控股设立3亿元“华工科技成果转化基金”，联合顺德区国资设立10亿元新质生产力基金，形成“投早、投小、投硬科技”的资本体系。

佛山市顺德华工科技园有限公司建设的“先进功能材料制备与应用中试平台”。

另一家半导体材料外延与微纳加工中试平台，依托广东中科半导体微纳制造技术研究院建设，已建有2.3万平方米洁净实验室，具备8英寸硅晶圆及8英寸硅基氮化镓晶圆加工能力，兼容2至6英寸晶圆尺寸。其服务覆盖GaN外延生长、芯片加工、器件测试到封装的全流程，直接对准光电子器件、功率器件、MEMS器件等半导体分立器件的工程化瓶颈。目标是建成产业技术源头创新及高技术成果转移、转化基地，形成“创新研发+公共服务+科技企业+专业基金+品牌活动”的半导体产业发展生态圈。

广东中科半导体微纳制造技术研究院建设的“半导体材料外延与微纳加工中试平台”。

两家平台的共同特征在于：嵌入了产业真实需求的中试枢纽。前者背靠华南理工大学的学科资源与顺德区的产业基础，后者则带有中科院苏州纳米所的技术基因与南海区的载体支撑。

在国家层面，佛山的中试平台培育呈现加速态势。佛山市工业和信息化局介绍，此前的第一批和第二批工业和信息化部重点培育中试平台名单中，佛山已有广东美的制冷设备有限公司、库卡机器人（广东）有限公司、广东省科学院佛山产业技术研究院、广东邦普循环科技有限公司、有研（广东）新材料技术研究院、广东佛智芯微电子有限公司6家平台相继入选，这次公示再添两家平台，不仅仅是荣誉的叠加，更是梯队厚度的一次验证。中试这一步走稳了，助力佛山加快从“制造大市”向“智造强市”跃进。

文、图丨王靓