佛山市副市长文曦到广东中科微纳院调研

2月22日上午，佛山市副市长文曦到广东中科半导体微纳制造技术研究院开展中试平台专题调研。文曦一行参观展厅。文曦一行首先前往成果展厅，详细了解研究院建设定位、公共服务平台建设及成果转化等方面建设成效，随后来到洁净实验室参观8寸硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台

2月22日上午，佛山市副市长文曦到广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称“研究院”）开展中试平台专题调研。佛山市政府副秘书长韩轲、市科技局党组书记，局长薛立伟等陪同调研。

文曦一行参观展厅。

文曦一行首先前往成果展厅，详细了解研究院建设定位、公共服务平台建设及成果转化等方面建设成效，随后来到洁净实验室参观8寸硅基MEMS和化合物半导体芯片加工中试平台。

当前，研究院正积极通过联合研发、共建产线、超净实验室服务、中试代工、科教融合、人才培养等方式，与企业、高校、科研院所开展多维度合作，有效促进项目的孵化转化落地，为佛山吸引更多高质量的科技人才与优质项目。

文曦一行参观洁净实验室。

文曦表示，研究院建设的半导体微纳加工中试平台，是佛山重要的科技转化平台。她鼓励研究院要继续发挥好“研究中心+微纳加工平台+育成中心”创新运营模式的优势，加快实现半导体科技成果的高效转化，继续推进研究院二期和产业园建设，助力佛山实现产业转型升级。

来源：广东中科微纳院

编辑：佛山新闻网何宇扬

审校：周一帆、闵莘、冯杏瑜
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