
狮山科创矩阵再添“硬核一员” 半导体材料外延与微纳加工中试平台 入选省级制造业中试平台 近日,2026年省级制造业中试平台名单正式公示,南海区入选数量位居全市第一。其中,依托广东中科半导体微纳制造技术研究院建设的“半导体材料外延与微纳加工中试平台” 来自狮山,成为南海入选数量领跑全市的关键支撑。 中试是新产品从样品试制迈向工业化生产的过渡性试验环节,是科技成果产业化的关键环节,既是制造业创新体系的有机组成部分,也是现代化产业体系的重要支撑。中试平台承载工艺放大、性能验证、产品迭代等核心功能,在加速科技成果落地转化、推动产业技术迭代升级方面发挥着至关重要的作用。

对半导体来说,实验室出样品不难,难的是走向量产。中试环节承上启下,直接决定科技成果能否从样品走向量产、落地成现实生产力。
位于狮山的半导体材料外延与微纳加工中试平台贯通化合物材料外延—芯片制造—封装测试全流程,掌握Si高深宽比刻蚀、GaN低损伤刻蚀等特色工艺,中试能力达6万片/年,是集研发、公共服务、产业化于一体的开放型中试载体。
截至目前,平台已服务国内24个省(市)客户约1000家次,吸引超70家半导体企业落户研究院周边,已成为佛山半导体产业研发与产业化之间的关键桥梁、区域创新生态的“孵化器”,为佛山打造半导体、传感器产业新高地提供坚实支撑。
据了解,该中试平台的建设主体——广东中科半导体微纳制造技术研究院,于2019年落地狮山,由佛山市、南海区两级政府共建,中国科学院苏州纳米所支持,是省属事业单位。

广东微纳院分两期建设,一期在半导体芯片领域布局“半导体材料外延与微纳加工”中试平台,二期计划打造华南地区条件完善、产业链覆盖齐全的技术驱动型半导体特色主题产业园,通过“概念验证+产品中试+产业孵化”的新型运营模式,建设成为国内有影响力的半导体产业公共技术支撑平台、人才培养基地与产业集聚高地。
正如广东中科半导体微纳制造技术研究院常务副院长王辉所言:“研究院将坚持从企业中找需求,成果到企业中去。”中试平台的价值,不只是把片子做出来,更是帮中小企业把试错成本降下来、把量产路径跑出来。

亮眼成绩的背后,既离不开企业持续深耕技术攻关、搭建中试创新载体的不懈努力,更得益于狮山镇“狮无忧”的全链条服务体系,为企业提供金融扶持、设备更新及技术改造等政策红利,精准匹配企业创新需求,助力前沿技术跨越转化鸿沟,加快从实验室样品走向工业化量产。
半导体与集成电路是狮山科学城三大主导产业之一。在9月21日召开的佛山市南海区狮山镇第五届人民代表大会第一次会议上,狮山提出要建好狮山科学城,加快建设南海大学城人文科创带,构建梯次培育体系,力争五年内规上工业企业研发机构覆盖率达70%,推动广东微纳院等平台提升成果转化和产业孵化能力。这意味着,微纳院不是“孤立平台”,而是狮山从制造重镇转向智创强镇的重要引擎之一。

接下来,狮山将持续深化创新驱动发展战略,锚定重点产业赛道,支持中试平台聚力攻克产业关键工艺与核心技术,持续升级“狮无忧”“狮头企”服务体系,深化“四链融合”,打通科技成果沿途转化、就地转化通道。依托中试载体激活制造业创新动能,推动狮山产业创新链条蹄疾步稳、量质齐升,奋力迈上新台阶。
省级中试平台的入选,不是一块牌子的终点。当外延片在狮山亮起微光,更多实验室成果,正被淬炼成大湾区产线上的“狮山芯”。从制造到智创,狮山不只要“大”,更要“强”。

掌握狮山最新资讯↓

佛山新闻网综合报道
来源:南方+、广东中科半导体微纳制造技术研究院、佛山新闻网
编辑:佛山新闻网 杜嘉雯
审校:狮山镇宣传文体旅游和教育办公室
图片版权归原作者所有,如有侵权请联系删除。







分享

点点赞
