6月14日，在全市中试产业高质量发展大会上，5家概念验证中心、20家中试平台获得首批授牌，6位作为首批经验探索先行者也在会上分享初步成果。
半导体产业培育周期长，产品迭代快、制造产线前期投入大、硬件配套设施要求严苛，中小企业难以入局。针对行业痛点，广东中科半导体微纳制造技术研究院（以下简称研究院）聚焦半导体芯片制造核心环节，通过建设半导体中试加工公共服务平台为行业破局。
广东中科半导体微纳制造技术研究院代表作中试平台建设经验分享。/佛山市新闻传媒中心记者 周春 摄
“目前研究院已打造‘半导体微纳加工、半导体材料外延’两大公共服务中试平台”，广东中科半导体微纳制造技术研究院副院长王辉介绍，半导体微纳加工平台针对氮化镓光电子器件、功率器件等多种半导体分立器件开展芯片加工中试流片服务，设计产能为每月8寸5000片；半导体材料外延平台提供材料外延生长定制化服务及测试服务，设计产能为每月4寸4000片。
王辉说，目前研究院已对标半导体标准代工线，建设了2.3万平方米专业化百级、千级半导体洁净实验室，半导体芯片制造必需的硬件支撑条件一应俱全。研究院还建立了一支扎根佛山，具备工艺、设备、厂务全方位支撑能力的100余人工程化技术团队，并积极推动“科教融合”人才培养工作，与多所高校联合开展实习培训工作。针对初创企业加工需求的多样性，研究院中试平台以8英寸晶圆线为主，同时兼容2、4、6英寸晶圆加工，同时与客户合作共建产线，降低企业自建产线投入，加速项目落地。
“研究院坚持服务与招商并举，实现佛山半导体产业集聚。”王辉说，建院至今，研究院共引进市、区各级科技创新人才团队产业化项目12项，项目获批竞争性财政经费支持超1亿元；累计孵化引进半导体产业上下游科技型企业40余家，企业估值超30亿元。“目前，‘中试平台+联合研发+专业基金+专业载体+品牌活动’的半导体产业生态正在逐步形成。”
根据计划，未来三年研究院将服务科研院所、企业客户超200家，对外服务金额超1.5亿元，引进、孵化企业超70家，立项省市区各级人才团队超20项，企业年产值突破4亿元，进一步促进佛山半导体产业集聚，打造佛山半导体产业名片。
文/佛山市新闻传媒中心记者 张喆
图/佛山市新闻传媒中心记者 周春