开栏语

今年，随着佛山正式成为“科创中国”试点城市，全市上下科技创新动能进一步激发，共有45个项目获佛山市深入推进创新驱动助力工程专项资金支持，资助总金额达2360万元。

创新驱动助力工程已成为佛山创新发展、建设“科创中国”试点城市、助推产业转型升级的重要平台。从今日起，佛山日报联合佛山市科学技术协会，推出“科创中国在佛山”系列报道，走进2021年佛山市深入推进创新驱动助力工程优秀项目，敬请关注。

与佛山企业开设离子镀膜联合实验室，帮助联盟成员提高半导体装备及零部件共性技术研发能力，协助联盟成员打通半导体产业资金链、人才链、产业链、创新链、政策链……今年5月，由季华实验室牵头的粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟正式成立，并成功申报2021年佛山市深入推进创新驱动助力工程，获得100万元专项资金支持。

日前，佛山日报记者走进季华实验室，了解联盟如何通过智力支持推动佛山乃至粤港澳大湾区半导体产业发展。

百万专项资金扶持 季华实验室借“脑力”

“半导体技术团队是季华实验室引进的第一个科研项目团队。落户佛山两年后，我们发现佛山乃至全省的半导体产业基础薄弱，仅凭团队自身力量难以推动半导体产业规模化发展。”季华实验室研究员、粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟秘书长胡琅回忆，在佛山市科学技术协会支持下，季华实验室联合省内多家高等院校和制造业龙头企业，牵头成立粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟，打造在大湾区范围内半导体装备及零部件产业交流和技术合作平台。

成立半年以来，联盟已吸纳成员500多人，成员单位达160家。其中，全职科研人员120人以上，具有高级职称、博士的全职研究人员达20人以上。

“季华实验室作为广东省重点打造的科技创新平台，牵头成立粤港澳大湾区半导体装备及零部件产业技术创新联盟，对发挥佛山高端装备制造产业优势，整合粤港澳大湾区及国内外半导体装备创新资源，加强产业链上下游合作，推动技术成果转化落地具有重要意义。”佛山市科学技术协会党组成员、副主席葛振海表示，在佛山入选“科创中国”试点城市的背景下，联盟成功申报2021年佛山市深入推进创新驱动助力工程，不仅能通过联盟实现以才引才目的，还能攻克更多行业“卡脖子”技术难题，促进半导体装备产业与佛山制造深度融合。

携手企业搭建实验室 突破“卡脖子”难题

“联盟成立后，我们利用周末先后到佛山、珠海、肇庆、东莞等相关企业调研，广东制造业尽管发展强大，但半导体产业的技术能力仍需进一步扶持。”胡琅介绍，今年，佛山市佛欣真空技术有限公司就主动联系联盟，希望联盟带领企业探索布局半导体领域。

于是，联盟和佛欣科技共同成立了离子镀膜联合实验室，围绕半导体部件研发生产等内容展开攻关，助推企业转型发展。在立足佛山基础上，联盟还与肇庆、中山等企业进行合作，为他们提供技术咨询、行业交流等服务，现在已有部分企业到佛山成立分公司。

为了进一步推动半导体产业扎根粤港澳大湾区，季华实验室还从完善产业基础设施入手，成立基于全国产装备及零部件验证的12英寸全国产装备验证平台。

胡琅介绍，随着12英寸全国产装备验证平台成立，佛山乃至全省半导体企业研发的关键零部件和装备都能在该平台上进行免费测试。未来，希望依靠该平台，吸引更多半导体企业落地佛山，进一步支持佛山半导体行业发展。

文 | 佛山日报记者谭海琪  通讯员陈锋登

编辑 | 王琦玥